SS10
Полуавтоматическая установка дисковой резки SS10 — самая быстрая установка резки пластин до 150 мм при самых малых размерах. Обеспечивает высокую производительность при малой занимаемой площади.

Отличительные особенности:

  • Малая занимаемая площадь
  • Совместима с различными типами материалов
  • Стандартный шпиндель до 60 000 об/мин
  • Увеличенная производительность Ось X 600 мм/сек, Y 160 мм/сек, Z 80 мм/сек
  • 17 дюймовый LCD сенсорный монитор и новый графический интерфейс с максимально упрощенным дизайном ПО и удобством работы, большие кнопки, интерактивность
  • Простая и легкая функция проверки ширины реза
  • Хранение свыше 10 000 программ резки
  • Порт USB в стандартной комплектации
  • Оптимизированный вакуумный контроллер. Снижение на 50% потребления сжатого воздуха

Области применения:

Разделение полупроводниковых пластин на кристаллы с помощью режущего диска. Установка позволяет производить резку широкого спектра материалов: кремний арсенид галия, керамика и т.д.

Опции:

  • Держатели пластин/подложек
  • Станция оптической настройки режущего диска
  • Станция правки диска
  • Детектор поломки диска
  • Система замкнутого охлаждения шпинделя
  • Система фильтрации воды
  • Система контроля температуры воды
  • Система подачи присадок в рабочую зону для повышения качества реза

Технические характеристики:
Максимальный размер пластин/подложек Ø150 мм, квадрат 152 мм
Максимальный размер рамки 6 дюймов

Шпиндель: 
Вращение 60 000 об/мин
— Максимальный диаметр режущего диска 60 мм
— Выходная мощность 1,8 кВт

Ось X: 
— Диапазон резки 160 мм
— Максимальная скорость 600 мм/сек

Ось Y:
— Диапазон резки 162 мм
— Максимальная скорость 160 мм/сек
— Точность 0,005 мм на длине 162 мм

Ось Z:
— Перемещение 35 мм
— Максимальная скорость 80 мм/сек
— Повторяемость 1 мкм

Ось Theta:
Диапазон вращения 320⁰

Требования к подключениям и габаритные размеры:

  • Электропитание 3 фазы, 380В, 4 кВт
  • Пневмопитание 5-7 бар, расход 180 л/мин
  • Вода для резки 3-5 бар, расход 2 л/мин
  • Вода для охлаждения 3-5 бар, расход 2 л/мин
  • Вытяжка 3 м3/мин
  • Габаритные размеры 495х880х1715 мм
  • Вес 389 кг


Если Вас заинтересовало данное оборудование, наши менеджеры дадут ответ на любой Ваш вопрос, просто свяжитесь с нами.