Данная установка представляет собой настольную систему плазменной очистки, предназначенную для удаления загрязнений, оксидов и др. составов перед операцией разварки выводов проволокой, во «flip chip»-технологии и т.д.
Благодаря наличию в данной системе массового расходомера рабочих газов, можно производить смену газовых баллонов с различным давлением, а PLC-контроллер обеспечивает возможность программирования и хранения режимов работы, а так же безопасность рабочего процесса.
Отличительные особенности:
- Дверка камеры открывается в обе стороны
- Автоматическая очистка вакуумной линии после выключения системы
- Сверхточное совмещение по верхней стороне
- Обновление программного обеспечения посредствам аналогового модема
- Возможность использования вращающегося барабана для обработки маленьких деталей
- RS-232 интерфейс
Области применения:
- Изготовление МЭМС
- Удаление полимеров (например, после Bosch-процессов)
- Удаление жертвенных органических слоёв
- Обработка биоактивных компаундов
Опции:
- Вакуумная помпа
- Озоновая ловушка
- Вторая газовая линия
- Вращающийся барабан для мелких компонентов
- Ящик с полками
- Дистанционное управление
- И другие
Технические характеристики:
Размеры рабочей камеры: 170х170х200 мм
Частота: 2,45 ГГц макс. 300 Вт,
Подача газа: Одна газовая магистраль с массовым расходомером с магнитным клапаном
Эл. питание: Однофазное 230В, 50-60 Гц, 16 А
Габаритные размеры: 640х710х710 мм
Вес: 100 кг
Если Вас заинтересовало данное оборудование, наши менеджеры дадут ответ на любой Ваш вопрос, просто свяжитесь с нами.
